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光氧廢氣處理設備氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。 光氧廢氣處理設備 特點：① 采用單級或多級串聯洗滌，對污染物去除徹底，去除效率高。② 處理高濃度惡臭廢氣具有明顯優勢，運行穩定。③ 具有啟動速度快、可間歇運行、耐沖擊負荷強、受溫度影響小、運行穩定等特點。④ 自動化程度高，占地面積小,化學洗滌除臭設備適用于污水處理廠、制藥廠、化工廠等具有堿性或酸性且濃度比較高的尾氣治理。活性炭除臭設備采取切線出風、環狀過濾、中間進風、上不加料、下部卸料的結構，克服了傳統的活性炭過濾器過濾阻力大、面積小、占地面積大、設備投資高、更換活性炭困難等缺陷，使活性炭過濾設備結構設計近乎于完美。
常見的產生等離子體的方法是氣體放電，所謂氣體放電是指通過某種機制使一電子從氣體原子或分子中電離出來，形成的氣體媒質稱為電離氣體，如果電離氣由外電場產生并形成傳導電流，這種現象稱為氣體放電。根據放電產生的機理、氣體的壓j源性質以及電極的幾何形狀、氣體放電等離子體主要分為以下幾種形式：①輝光放電；③介質阻擋放電；④射頻放電；⑤微波放電。無論哪一種形式產生的等離子體，都需要高壓放電。容易打火產生危險。由于對諸如氣態污染物的治理，一般要求在常壓下進行。 特點：① 不需要高成本的化學藥劑，運行穩定，耐腐蝕，耐負荷沖擊能力大。② 針對特定有害氣體成份馴化適當的微生物，提高單位容積的負荷率。③ 填料采用有機無機混合填料，比表面積大，孔隙率高，并可為微生物提供營養，可支撐大量不同種群微生物群。④ 填料活性介質的損失小、可減少能耗，降低運行費用。采用強化自然生物降解污染物，無二次污染物產生。VOC去除率高，對H2S的去除率可達99%。 PLC控制系統自動運行，無需人員管理設備。
把有機廢氣加熱升溫至800℃，使廢氣中的VOC氧化分解，成為無害的CO2和H2O；氧化時的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來，用于預熱新進入的有機廢氣，從而節省升溫所需要的燃料消耗，降低運行成本。有機廢氣經高壓引風機進入蓄熱室的保留了上一循環熱量的陶瓷介質層后，陶瓷釋放熱量，溫度降低，而有機廢氣吸收熱量，溫度升高。廢氣離開蓄熱室后，以較高的溫度進入燃燒室，準備進行氧化。 在燃燒室中，有機廢氣再由燃燒器加熱燃燒，加熱升溫至設定的氧化溫度，此時溫度為設定的800℃，使有機物被分解成二氧化碳和水。由于廢氣已在蓄熱室內進行過預熱，燃燒器的燃料用量大為減少。廢氣流經蓄熱室升溫后進入氧化室焚燒，成為凈化后的高溫氣體后離開氧化室，進入在上一循環已冷卻的蓄熱室。在此氣體釋放熱量，降溫后排出，而蓄熱室吸收大量熱量后升溫，其吸收的熱量用于下一個循環加熱廢氣。在此同時，廢氣引風機經由反吹風管，從蓄熱室抽出少許前一循環殘留在其中的微量有機氣體，回送至廢氣風機進口處，再送入燃燒室中進行焚燒，此部分氣體同處理后氣體一起離開蓄熱室，經熱回收設備排入大氣。 是目前成熟、穩定、有效的有機廢氣處理設備，采用提高前輩的熱交換技術和新型蜂窩陶瓷蓄熱材料，提高前輩的換熱系統保證了氧化分解熱量的有效回收，熱回收率95%以上，VOC凈化率99%以上，在有機廢氣凈化領域具有很大的技術上風。
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